삼성 반도체 공장 물 104만톤 아껴…英 기관이 물절약 인증

이민재 / 기사승인 : 2020-09-22 15:51:21
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반도체 공장, 세정 작업 등에 방대한 물 사용…폐수 재이용, 공정 최적화로 줄여

삼성전자가 반도체 업계 최초로 '물 사용량 저감 사업장'으로 인정받았다.

반도체 생산시설과 연구소가 있는 삼성전자 화성캠퍼스는 22일 서울 플라자호텔에서 열린 영국 카본 트러스트(Carbon Trust)의 인증 수여식에서 조직단위 '물 발자국' 인증을 받았다.

카본 트러스트는 영국 정부가 2001년 기후 변화 대응과 탄소 감축 방안의 목적으로 설립한 친환경 인증 기관이다.

삼성전자 화성캠퍼스는 2017~2018년 연 평균 사용량 5015만 톤 대비 2019년 4911만 톤으로 약 104만 톤의 용수를 절감했다. 삼성전자 측은 "이는 20만 인구가 한 달 사용하는 용수 사용량과 비슷한 수치"라고 설명했다.

삼성전자는 "수자원을 아껴 쓰고, 재사용하고, 재활용하는 3R(Reduce, Reuse, Recycle) 활동을 10년 이상 지속해왔으며, 용수 사용량 저감을 사업장의 경영지표로 관리해왔다"고 설명했다.

이를 위해 삼성전자는 용수 사용량을 최소화할 수 있도록 공정을 최적화하고, 멤브레인 기술 도입으로 고농도폐수를 정화해 유틸리티 설비에 사용하는 등 폐수 재이용률을 높였다. 멤브레인은 특정 성분을 선택적으로 통과 시켜 혼합물을 분리하는 막이다.

▲ 삼성전자 화성캠퍼스 내 공정용수 재이용 시설 [삼성전자 제공]


반도체 공장은 매일 방대한 양의 물을 사용하는 것으로 알려졌다. 물은 주로 반도체 제조 공정, 공정 가스 정화(Scrubber), 클린룸의 온·습도 조절 과정에 쓰인다.

특히 이른바 '반도체 8대 공정'을 위해 무기질이나 미립자가 포함되지 않은 초순수를 활용한 세정 작업을 하는데, 반도체 집적도가 높아질수록 용수 사용량도 많아진다.

삼성전자는 최근 기업의 사회적 책임에 대한 범위와 중요성이 확대됨에 따라 지난 7 DS부문 산하에 지속가능경영사무국을 신설했다.

박찬훈 삼성전자 DS부문 글로벌인프라총괄 부사장은 "앞으로도 반도체 사업이 지속가능한 방향으로 나아갈 수 있도록 다양한 친환경 관련 아이디어를 발굴하고 추진해 나갈 것"이라고 말했다.

UPI뉴스 / 이민재 기자 lmj@upinews.kr

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